Трихлоросилан

Трихлоросилан (ТЦС, СиХЦл₃, ЦАС 10025-78-2) је безбојна, веома испарљива течност са оштрим, загушљивим мирисом хлороводоника. Врући на 31,8 степени и бурно реагујући са влагом, то је кључна сировина за Сиеменс процес за производњу полисилицијума високе{10}}чистоће за фотонапонске соларне ћелије и полупроводничке плочице. ТЦС се такође широко користи у расту силицијумских епитаксијалних плочица, синтези органосилицијума (силиконска уља, гуме, смоле, средства за спајање), ЦВД таложењу танког филма силицијума и као селективно редукционо средство у органској синтези. Доступан у индустријској класи (веће или једнако 99,0%) и електронском нивоу (до 9Н чистоће). Класификован као реактиван са водом и лако запаљив (УН 1295, класа 4.3+2.3, ПГ И) са изузетно широким опсегом експлозивности од 1,2%–90,5%; рукујте само под строго анхидрованим условима са заштитом од сувог азота.